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起步“开门红”,离子注入机跑出交付“加速度”

来源:中电科新闻中心 作者: 时间:2023-01-06

       满载设备的运输车整装待发,又一台离子注入机设备驶向客户现场,这是电科装备今年交付的第三台离子注入机。

  过去一年,电科装备累计新签设备数量创下历史新高,同比增长近70%,在不同工艺、不同应用领域多点开花并获得重复订单。为了满足日益增长的订单需求,离子注入机团队拿出开局即冲刺的精气神,早谋划早部署,早行动早落实。

  

  

  

  离子注入机是集成电路芯片制造的关键设备,研制难度极大。为全力攻克这一难题,研发团队通过成千上万次模拟实验,夜以继日的在线验证,自主研制出中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,成功实现我国集成电路制造领域全系列离子注入机自主创新发展。

  面向未来,中国电科将以党的二十大精神为指引,继续瞄准国家重大战略需求,加快推动离子注入装备产业化发展,为高水平科技自立自强作出新的更大贡献。 

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